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| HNPM高性能泵在晶圓鍵合涂層設備的應用案 |
| 點擊次數(shù)：2754 更新時間：2022-08-15 |
德國HNP Mikrosysteme(下文簡稱為“HNPM”)公司專注研發(fā)，制造和銷售微型齒輪微量泵。該泵能快速、精準輸送填充微量液體，并成熟應用與生命科學和分析儀器領域、機械和微型工程、化學和制藥工藝工程等領域。HNPM公司還提供開發(fā)配料系統(tǒng)的客戶定制服務。 HNPM微環(huán)形齒輪泵主要產(chǎn)品： HNPM高性能泵、HNPM低壓泵、HNPM惰性密封泵、HNPM模塊泵、HNPM磁性密封齒輪泵5大系列。 HNPM高性能泵mzr-7205在晶圓鍵合涂層設備的應用案例： SUSS MicroTec集團ACS200 GEN3自動涂布機既包含大量的創(chuàng)新設計，又結合了Gamma和ACS200Plus平臺的最佳優(yōu)點。最多能夠配備4個涂膠顯影模塊和19個冷熱板，非常適合大規(guī)模生產(chǎn)。該平臺具有的模塊配置靈活性，其技術不僅可以滿足先進封裝、MEMS和LED等應用要求，同時也適合研發(fā)和大規(guī)模生產(chǎn)的需求。在這個平臺上使用HNPM高性能泵mzr-7205，實現(xiàn)了高精度、低脈動、低體積劑量，介質是丙酮與光刻膠。 SUSS選用HNPM高性能泵mzr-7205的要求： ?低脈動、可重復的體積流量。 ?體積流量與線速度的動態(tài)適應性。 ?緊湊型計量泵 ?集成微控制器 ?控制系統(tǒng)的簡單集成 HNPM高性能泵mzr-7205特點: HNPM高性能泵mzr-7205的流量范圍為0.048-288 ml/min，HNPM高性能泵mzr-7205的主要特點高精度、低脈動、低體積劑量（即使是非潤滑液體）或高壓、緊湊設計和集成微控制器。HNPM高性能泵mzr-7205允許在較寬的粘度范圍內(nèi)給藥，并顯示出較小的經(jīng)濟尺寸。HNPM高性能泵mzr-7205以工業(yè)生產(chǎn)和工藝技術應用為主。HNPM高性能泵mzr-7205設計用于連續(xù)輸送和離散劑量的水、水溶液、溶劑、甲醇、油、潤滑劑、粘合劑、油墨和油漆以及其他高粘度液體。 HNPM高性能泵其他型號： mzr-2505、mzr-2905、mzr-4605、mzr-7205、mzr-11508等
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